半导体生产中的设备通信与集成
2023.4.1
广东吉洋视觉专注AOI视觉检测设备 ( 半导体晶圆AOI ;LED胶水封装检测AOI ;LED半导体划片检测AOI ;吉洋LED半导体AOI设备 )
在半导体生产制造中,生产过程的管理由MES、EAP等协同完成,生产管理系统对设备实时下发指令,根据工单、配方来控制工艺流程。与此同时,还要从设备中实时获取各项设备参数、指标、状态等数据,获取设备发生的各类报警信息以及生产过程中的统计数据等,以便最终对这些上传的数据进行统计分析,形成批报,指导生产。 半导体生产制造设备种类较多,设备供应商也众多,他们很多与半导体生产制造厂商是不同厂商,因此,这些设备与制造厂商之间就必须要遵循一定的标准。例如在生产的控制和管理过程,都要遵循一套半导体行业规范,其中就包括了半导体生产设备与管控系统的通信标准,也就是SECS/GEM协议。它规定了在二者之间通信的统一规范,包括通信双方的连接参数配置,支持的通信功能,通信消息的格式,生产关键步骤的数据、状态,生产报警信息,产量和统计数据,控制信号的收发等一系列内容。 在这样的背景下,就要求设备厂商需要有对应的解决方案来使产品支持SECS/GEM协议通信。国内的半导体设备厂商面临的选择,通常就是选用支持SECS/GEM的硬件PLC,或者自行组建研发团队尝试通过软件来实现SECS/GEM协议,前者成本高且品牌受限,后者开发和维护人力成本高企且开发周期长、存在开发失败风险,并且功能的稳定性待考验等。郑重声明:1、部分内容来源于网络,本文版权归原作者所有,转载文章仅为传播更多信息之目的。2、本文仅供学术交流,非商用。如果某部分不小心侵犯了大家的利益,请联系删除。